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2021/7/20

超高感度エミッション顕微鏡で酸化ガリウム半導体パワーデバイスに影響を与える結晶欠陥の同定に成功

【概要】

2021年05月31日、理工学部電気電子工学部門 嘉数 誠 教授らの研究グループは、超高感度エミッション顕微鏡により、次世代のパワー半導体ベータ型酸化ガリウム半導体デバイスの動作に致命的な結晶欠陥を発見することに成功しました。この発見により、ベータ型酸化ガリウム半導体デバイスの実用化に繋げることができます。



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