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2023/10/17
大津 康徳 教授がアメリカ物理学会主催76th Annual Gaseous Electronics Conference(GEC2023)にて招待講演
【概要】
電気電子工学部門の大津 康徳 教授が2023年10月9日（月）から14日（金）の期間にアメリカ合衆国ミシガン大学で開催されたアメリカ物理学会主催の第76回気体エレクトロニクス会議に出席し，「半導体デバイス製造装置として広く利用されているプラズマの設計とその特性に関する研究」というテーマにて招待講演を行いました。
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